Cible planaire en niobium

Les cibles de pulvérisation nécessitent une composition homogène, une taille de particules appropriée et une orientation cristallographique spécifique, et les exigences élevées de ces cibles de pulvérisation visent toutes à obtenir une vitesse de dépôt de film uniforme sur l'ensemble du substrat. Les cibles en niobium sont principalement utilisées dans les matériaux d'ingénierie de surface, tels que les écrans marins, chimiques et à cristaux liquides, et les industries de revêtement telles que la résistance à la chaleur, la résistance à la corrosion et la conductivité élevée. Une cible plate en niobium est une cible en niobium d'un diamètre supérieur ou égal à 150 mm, généralement appelée cible nue, et l'utilisateur la soude d'abord avec une cible arrière en cuivre ou en aluminium lors de son utilisation, puis pulvérise pour déposer des atomes de niobium sur le matériau du substrat pour obtenir un revêtement par pulvérisation cathodique. Afin d'obtenir l'uniformité du revêtement, la cible plane de niobium doit écraser les cristaux de coulée de lingot de niobium pour s'assurer que la structure interne de la cible de niobium est complètement recristallisée, que la taille des grains est inférieure à 100 μπι et qu'elle est uniforme.

Notre société propose une nouvelle méthode de préparation, comprenant les étapes suivantes : les lingots de niobium sont forgés radialement et carrément allongés, les lingots de niobium forgés sont décapés, et les lingots de niobium décapés sont traités thermiquement ; Ensuite, les lingots de niobium sont aplatis et forgés, les lingots de niobium forgés sont décapés et les lingots de niobium décapés sont traités thermiquement; Enfin, les lingots de niobium sont laminés pour obtenir une cible plane de niobium.

Dans le processus de préparation d'une cible de niobium, le processus de forgeage est une combinaison de carré radial, d'allongement axial et de forgeage d'aplatissement, de sorte que la région cristalline colonnaire dans le lingot de niobium, la région cristalline équiaxe centrale et le voisinage du bord de le lingot de niobium, le flux de métal de la partie centrale de l'ébauche augmente, l'inégalité de la structure centrale est considérablement améliorée et la structure cristalline grossière moulée d'origine est entièrement brisée dans plusieurs directions sous une force multidirectionnelle, favorisant ainsi le lingot de niobium pour obtenir une structure granulaire relativement uniforme. Il évite la présence de tissus nocifs tels que le tissu "bande cristalline" et le tissu cristallin grossier laissé par la partie centrale sans fragmentation efficace ; Dans l'étape de laminage, la déformation des lingots de niobium est plus uniforme, et après traitement, avec le processus de traitement thermique intermédiaire, la structure du matériau cible de niobium est de plus en plus homogène et raffinée, et enfin, une cible de niobium planaire à structure cristalline équiaxe de structure homogène et de granulométrie inférieure à 100 µm est obtenue. Par conséquent, une structure cristalline équiaxe avec un tissu uniforme et une taille de grain inférieure à 100 μπι a été obtenue par ce procédé de préparation.

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