Cible de niobium

La cible de niobium, symbole chimique du niobium Nb, numéro atomique 41, poids atomique 92,90638, appartient à la famille VB du système périodique. En 1801, C. Hatchet d'Angleterre a isolé l'oxyde d'un nouvel élément de la niobite et a nommé l'élément columbium (coltium en traduction chinoise).

Les cibles de pulvérisation en alliage de molybdène (10 %) niobium ont de larges perspectives d'application dans les cellules solaires et les écrans à couches minces. Cependant, en raison de l'absorption d'oxygène par la poudre de niobium pendant le processus de frittage, le corps vert de molybdène-niobium après frittage a une teneur élevée en oxygène et une faible densité. Cette fois, de la poudre de niobium avec un revêtement de carbone de niobium a été préparée par réaction chimique en phase gazeuse sous atmosphère de CH4. La couche de carbone de niobium aide non seulement à bloquer l'absorption d'oxygène mais peut également être complètement consommée en réagissant avec l'oxygène à la température souhaitée. Les effets de la méthode de préparation, du milieu de réaction et des paramètres de réaction sur les propriétés de la couche de carbone de niobium ont été étudiés et les conditions de traitement optimales ont été déterminées : température 600 degrés, temps de réaction 270 min, pression d'air 0,04 MPa.

La morphologie de surface, la composition chimique, la distribution et l'uniformité du revêtement ont été caractérisées par microscopie électronique à balayage, spectroscopie photoélectronique à rayons X, analyse microscopique par sonde électronique, spectroscopie Raman et microscopie à force atomique. La teneur en oxygène et en carbone a été déterminée avec les analyseurs ONH et CS. La poudre de niobium modifiée en surface a été mélangée avec de la poudre de molybdène et frittée sous vide pour obtenir des ébauches de Mo-10 % Nb avec une teneur en oxygène de 190 ppm, une teneur en carbone de 290 ppm et une densité relative de 93 %. La qualité de cette ébauche est nettement meilleure que celle préparée avec de la poudre de niobium non modifiée en surface.

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