
Cibles de niobium de haute pureté
Nuances : R04200, R04210
Pureté : supérieure ou égale à 99,95 %, 99,99 %
Norme : ASTM B393
Densité : 8.57g/cm3
Description du produit : Application : Industrie supraconductrice Pour la production de feuille de niobium Bouclier thermique dans un four à haute température Pour la production de tubes soudés au niobium Pour la production d'implants humains.
Statut : dur, mou
Procédé cible du niobium : laminage à froid, décapage, cisaillement
Application du produit:
Le matériau cible en niobium est important pour le matériau à couche mince. La pureté finale du matériau cible en niobium peut atteindre plus de 99,95 %, la taille des grains est petite, la structure de recristallisation est bonne et la consistance triaxiale est bonne. En tant que cible de pulvérisation cathodique, le film d'oxyde qu'il forme est de qualité uniforme, ne réagit pas avec d'autres substances dans l'air et a un effet protecteur de longue durée. Les cibles de pulvérisation en niobium sont largement utilisées dans les fibres optiques, les puces semi-conductrices et les circuits intégrés.
Spécifications : diamètre (50-400) mm * épaisseur (3-28) mm
Pureté : 99,9 %
Composition chimique(%) | ||||||||||||
Noter | Les ingrédients principaux | Teneur en impuretés (inférieure ou égale à) | ||||||||||
Nb | Fe | Si | Ni | W | mois | Ti | Ta | O | C | H | N | |
Nb1 | bal | 0.004 | 0.004 | 0.002 | 0.005 | 0.005 | 0.002 | 0.05 | 0.012 | 0.0035 | 0.0012 | 0.003 |
Nb2 | bal | 0.01 | 0.01 | 0.005 | 0.02 | 0.01 | 0.004 | 0.07 | 0.015 | 0.0050 | 0.0015 | 0.008 |
épaisseur | Tolérances d'épaisseur | largeur | Tolérances de largeur | longueur | Tolérances de longueur |
0.1~0.2 | ±0.015 | 20-1000 | ±2.0 | 20-2000 | ±2.0 |
0.2-0.3 | ±0.02 | 20-1000 | ±2.0 | 20-2000 | ±2.0 |
0.3-0.5 | ±0.03 | 20-1000 | ±2.0 | 20-2000 | ±2.0 |
0.5-0.8 | ±0.04 | 20-1000 | ±2.0 | 20-2000 | ±2.0 |
0.8-1.0 | ±0.06 | 20-1000 | ±2.0 | 20-2000 | ±2.0 |
1.0-1.5 | ±0.08 | 20-1000 | ±1.0 | 20-2000 | ±1.0 |
1.5-2.0 | ±0.10 | 20-1000 | ±1.0 | 20-2000 | ±1.0 |
2.0-3.0 | ±0.12 | 20-1000 | ±1.0 | 20-2000 | ±1.0 |
3.0-5.0 | ±0.15 | 20-1000 | ±1.0 | 20-2000 | ±1.0 |
5.0-8.0 | ±0.18 | 20-1000 | ±1.0 | 20-2000 | ±1.0 |
8.0-12.0 | ±0.20 | 20-1000 | ±1.0 | 20-2000 | ±1.0 |
12.0-15.0 | ±0.50 | 20-1000 | ±1.0 | 20-2000 | ±1.0 |
15.0-2.0 | ±0.80 | 20-1000 | ±1.0 | 20-2000 | ±1.0 |
L'avantage le plus important de nos cibles en niobium de haute pureté est qu'elles permettent d'obtenir des films avec une excellente conductivité et une minimisation des particules lors du dépôt physique en phase vapeur. Le tableau suivant est un certificat d'analyse de composition pour les cibles de niobium de haute pureté 3N5. Les méthodes d'analyse retenues : 1. l'utilisation de l'ICP-OES pour l'analyse des éléments métalliques ; 2. Utilisez LECO pour l'analyse des éléments gazeux.


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