Cibles d'oxyde de niobium

À l'heure actuelle, la préparation de cibles d'oxyde de niobium adopte principalement un processus de frittage par pressage à chaud, mais les défauts de compacité et de conductivité médiocres sont généralement préparés, ce qui est difficile à répondre aux exigences de la pulvérisation magnétron CC pour les matériaux cibles. De plus, le processus de frittage par pressage à chaud a une longue durée de frittage, une consommation d'énergie élevée et un coût élevé. Sur cette base, il est nécessaire de fournir une cible d'oxyde de niniobium avec une faible consommation d'énergie, un faible coût, une bonne compacité et conductivité, et un procédé de préparation de celle-ci.

Les étapes suivantes sont incluses :

La poudre de pentoxyde de niobium et la poudre de niobium ont été mélangées uniformément et calcinées à 600~800 degrés pendant 0,5~3h sous une atmosphère d'oxygène ou d'air pour obtenir une poudre prétraitée ;

La poudre est frittée dans un moule en graphite à 900~1200 degrés sous une atmosphère de gaz protecteur pendant 0,5~1h pour obtenir une cible d'oxyde de niobium.

Le procédé de préparation des cibles d'oxyde de niobium ci-dessus, après que la poudre de pentoxyde de niobium et la poudre de niobium sont mélangées uniformément, le traitement de calcination oxydant est effectué et la surface de la poudre de niobium est oxydée pour former une barrière de film d'oxyde activé, de manière à pour disperser la poudre de pentoxyde de niobium, éviter le phénomène d'agglomération provoqué par le frittage local de la poudre de pentoxyde de niobium, et la poudre prétraitée obtenue n'est pas agglomérée, non liée, a une bonne fluidité et une répartition granulométrique concentrée. Parmi eux, la poudre de pentoxyde de niobium a une surface spécifique élevée et une activité élevée, et sa taille de particule est petite, ce qui réduit la température de frittage par pressage à chaud et réduit le temps de frittage par pressage à chaud, réduisant ainsi la consommation d'énergie et coût du frittage à la presse à chaud, raccourcissant le cycle de production et améliorant efficacement le degré de densification de la cible d'oxyde de niobium obtenue par frittage à la presse à chaud.

La formule chimique de la cible d'oxyde de niobium préparée par la méthode de préparation ci-dessus est Nb2Ox, 4.0 Inférieur ou égal à x Inférieur ou égal à 4,9, la cible a une compacité élevée, une faible porosité et une surface plane sans piqûres, et sa densité est aussi élevée que 4,57 g/cm3. Sa conductivité est élevée et sa résistivité est de 2×10-3~8×10-3Ω·cm. Parmi eux, la densité relative fait référence au rapport de la densité mesurée par le détecteur de densité solide de la méthode de drainage d'Archimède à la densité théorique, et l'amplitude de la densité relative indique le degré de densification du matériau, et plus la densité relative est grande, plus le degré de densification du matériau est élevé.

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