Cible de tube de niobium

Le film Nb205 a d'excellentes propriétés optiques, sa perte de guide d'ondes optique est faible et il est largement utilisé dans les dispositifs de guide d'ondes SHG (génération de deuxième harmonique). Parce que le film Nb205 a une forte capacité d'absorption des ultraviolets, il peut être utilisé comme film protecteur pour les matériaux sensibles aux ultraviolets. En raison de l'indice de réfraction élevé du film Nb205, des films avec différents indices de réfraction peuvent être préparés avec Si02. Ces dernières années, le film Nb205, en tant que matériau électrochromique aux excellentes performances, a suscité un vif intérêt parmi les chercheurs.

Le film Nb205 est de plus en plus largement utilisé, et la demande de cibles Nb augmente, compte tenu du prix élevé du Nb et de l'oxydation facile, il est donc très nécessaire de développer un film à faible coût, de grande taille, respectueux de l'environnement, et méthode de production sans pollution de cibles de tubes en niobium. À l'heure actuelle, il existe deux méthodes principales de fabrication de cibles tubulaires en niobium, la méthode de forgeage et la méthode d'extrusion d'enveloppe.

(1) Méthode de forgeage : les lingots de niobium fondus sous vide sont chauffés et forgés, le cercle extérieur est forgé au diamètre extérieur de l'ébauche de tube requise, puis le diamètre intérieur est traité à la taille spécifiée par traitement mécanique. L'avantage de cette méthode est que le procédé est simple et facile à mettre en oeuvre ; Les inconvénients de cette méthode sont une faible utilisation de matériau, un coût élevé, affecté par l'usinage du trou intérieur et la longueur du produit fini est limitée.

(2) Méthode d'extrusion de couverture : telle que la méthode décrite dans la demande de brevet portant le numéro de publication CN102489951A : en utilisant des lingots creux de niobium fondu, le trou intérieur est usiné (la taille du trou intérieur est légèrement supérieure au diamètre intérieur du tube de niobium fini, tels que le diamètre intérieur du tube de niobium fini est de 128 mm et le trou intérieur est de 135 mm), le revêtement, le chauffage, l'extrusion, le décapage (retrait de la peau du revêtement), le traitement thermique, le traitement mécanique en un produit fini. L'avantage de cette méthode est qu'elle peut produire des cibles tubulaires en niobium de différentes spécifications et tailles, avec des grains fins et uniformes ; Les inconvénients de cette méthode sont que le flux de processus est long, le processus est complexe, la taille du trou intérieur est trop approximative, le taux d'utilisation des matériaux est faible, le coût est élevé et le décapage pollue l'environnement.

La cible de tube Ni obtenue par notre société à l'aide d'une nouvelle méthode de traitement est particulièrement adaptée à la pulvérisation magnétron, qui présente les avantages d'un processus simple, d'une utilisation élevée des matériaux, d'un faible coût de production, d'une protection de l'environnement et d'une absence de pollution. Les clients qui ont besoin de cibles Ni tube peuvent nous contacter à tout moment.

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