
Cibles de pulvérisation en titane
99,9 à 99,999 % de pureté
Circular: Thickness >= 1 mm, diamètre=14 pouces
Bloc :=32 pouces de long,=12 pouces de large et=1 mm d'épaisseur
Cibles Les cibles de pulvérisation planes et rotatives sont des exemples de ce type.
Quelles sont les cibles de la pulvérisation de titane ?
Il est crucial de comprendre initialement le titane afin de comprendre les cibles de pulvérisation de titane.
Le titane élément métallique est réputé pour sa robustesse et sa durabilité. Il est précieux en tant que métal réfractaire en raison de son point de fusion relativement élevé (plus de 1 650 degrés ou 3,000 degrés F). Le revêtement par pulvérisation cathodique est une méthode qui utilise des cibles en titane, qui sont construites à partir de titane métallique.
La coulée et la fusion sont les deux processus de base utilisés pour créer des cibles en titane.
Lorsqu'un métal fond, une température élevée est utilisée pour le faire devenir liquide. Une cible est produite une fois qu'elle est placée dans un moule et qu'elle a le temps de refroidir.
Coulée : Des particules à haute énergie sont projetées sur le métal à l'intérieur d'une chambre à vide. Le métal se vaporise en conséquence, se condensant sur la surface de la cible lorsqu'il refroidit.
Spécifications du titane (Ti)
| type de materiau | Titane |
| Symbole | Ti |
| Poids atomique | 47.867 |
| Numéro atomique | 22 |
| Couleur/Apparence | Argenté Métallisé |
| Conductivité thermique | 21.9 W/m.K |
| Point de fusion (degré) | 1,660 |
| Coefficient de dilatation thermique | 8.6 x 10-6/K |
| Densité théorique (g/cc) | 4.5 |
| Rapport Z | 0.628 |
| Pulvériser | CC |
| Densité de puissance maximale (Watts/pouce carré) |
50* |
| Type d'obligation | Indium, Élastomère |
L'un des composants clés de la création de circuits intégrés, sa pureté exige souvent plus de 99,99 % . Pour les industries des semi-conducteurs et de l'énergie solaire, AEM fournit des cibles en alliage de titane telles que la cible de pulvérisation de tungstène titane (W/Ti 90/10 % en poids). La densité cible pour la pulvérisation W/Ti peut dépasser 14,24 g/cm3 et la pureté peut approcher 99,995 %.

Le titane métallique ductile et résistant a une faible densité (surtout dans un environnement sans oxygène). Il est précieux en tant que métal réfractaire en raison de son point de fusion relativement élevé (plus de 1 650 degrés ou 3,000 degrés F). Il a une faible conductivité électrique et thermique et est paramagnétique. Le revêtement d'outils matériels, le revêtement ornemental, le revêtement de composants semi-conducteurs et le revêtement d'écrans plats sont tous des utilisations fréquentes des cibles de pulvérisation en titane. L'un des composants clés de la création de circuits intégrés, sa pureté exige souvent plus de 99,99 % . Pour les industries des semi-conducteurs et de l'énergie solaire, AEM fournit des cibles en alliage de titane telles que la cible de pulvérisation de tungstène titane (W/Ti 90/10 % en poids). La densité cible pour la pulvérisation W/Ti peut dépasser 14,24 g/cm3 et la pureté peut approcher 99,995 %.
Les utilisations incluent les écrans plats, les revêtements décoratifs pour les outils matériels et les semi-conducteurs.
Caractéristiques : Faible coût ; haute pureté; grains raffinés; microstructure artificielle; granulométrie moyenne de 20 um ; qualité semi-conducteur.
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