Les cibles de pulvérisation cathodique sont largement utilisées dans de nombreuses industries grâce aux progrès de la science et de la technologie. Aujourd'hui, je présenterai principalement les processus de production de cibles en molybdène et de cibles en aluminium.
Grâce à la métallurgie des poudres, une ébauche de cible est créée pour le matériau cible en molybdène. L'ébauche de cible est traitée mécaniquement et soudée avec un fond de panier en cuivre sans oxygène (OFC) dans un environnement propre pour former une cible de base. La cible de base est non destructive par inspection de détection de défauts par ultrasons, le taux de liaison par soudage atteint 98 % ou plus, puis un traitement mécanique fin est effectué pour garantir la précision du matériau cible et répondre à l'irradiation.
Processus de production du matériau cible en aluminium : la matière première est d'abord coupée en morceaux en usine, améliorée par un traitement plastique et un traitement thermique pour créer une ébauche cible, qui est ensuite traitée mécaniquement et nettoyée à l'aide d'un fond de panier en cuivre sans oxygène (OFC).
Pour garantir la précision du matériau cible et le respect du champ électrique cible, du champ magnétique, du canal d'eau de refroidissement, etc., un traitement mécanique fin est effectué après le soudage du matériau cible de base dans l'environnement. Le matériau cible de base est testé par inspection non destructive par ultrasons et le taux de combinaison de soudage est supérieur à 98 %. Nécessités d'installation ; après nettoyage et conditionnement en salle blanche, la cible finie est placée dans un sac plastique spécifique pour la protéger de l'oxydation, de la pollution et de l'humidité. Cela élimine toute matière inorganique ou organique qui aurait pu adhérer à la surface.
