Le vanadium est un métal gris argenté d'une densité de 6,11 g/cm3et un point de fusion de 1919±2 degrés. C'est un métal rare avec un point de fusion élevé. Dans la production de circuits intégrés, l'or pur est généralement utilisé comme couche conductrice de surface, mais les plaquettes d'or et de silicium ont tendance à générer des composés AuSi à bas point de fusion, ce qui entraîne une liaison faible entre les interfaces or et silicium.
Par conséquent, une couche de liaison est ajoutée à la surface des plaquettes d'or et de silicium. Le nickel pur est souvent utilisé comme couche de liaison, mais une diffusion se formera également entre la couche de nickel et la couche conductrice d'or. Par conséquent, une couche barrière est nécessaire pour empêcher la diffusion entre la couche conductrice d'or et la couche de liaison de nickel.
La couche barrière doit être constituée d'un métal à point de fusion élevé et doit résister à une densité de courant élevée. Le vanadium de haute pureté peut répondre à cette exigence. Le vanadium de haute pureté présente également une bonne plasticité et peut être laminé en feuilles, en feuilles et étiré en fils à température ambiante.
Procédé de préparation de la cible de vanadium
1. Coupez le lingot de vanadium de pureté requise en fonction de la taille cible à l'aide d'une scie horizontale, préchauffez à 450-500 degré, puis forgez et contrôlez le taux de déformation total du forgeage à 70-80 % ;
2. Recuire le lingot de vanadium forgé à une température de 400-500 degré et un temps de maintien de 60-120 min, puis le refroidir par refroidissement à l'air ;
3. Roulez le lingot de vanadium recuit et contrôlez la quantité de pressage de chaque passe à 0.5-1mm, et contrôlez la déformation totale à 70-80%, jusqu'à ce que l'ébauche cible en vanadium du diamètre et de l'épaisseur requis soit obtenue ;
4. Recuire à nouveau la cible brute en vanadium laminée à une température de 450 degrés et pendant un temps de maintien de 3 minutes. Après un nouveau recuit, refroidir à l'eau pour obtenir la cible brute en vanadium de haute pureté requise. La cible brute en vanadium préparée de cette manière présente non seulement une structure interne uniforme, mais présente également les avantages d'un grain fin.
En plus des cibles en vanadium, nous pouvons également fournir des cibles de pulvérisation telles que l'alliage nickel-vanadium, l'alliage cobalt-vanadium, l'alliage titane-aluminium-vanadium, l'alliage fer-vanadium-germanium, l'alliage cobalt-fer-vanadium-silicium et le pentoxyde de vanadium.
