
Cible de pulvérisation de tantale
2. Matériau : R05200 ; R05400
3.Norme :ASTM B708-2001
4. Pureté : supérieure ou égale à 99,95 %, 99,99 %9, 99,999 %
Description de la pulvérisation de la cible de pulvérisation au tantale
Les cibles de pulvérisation au tantale ont les mêmes propriétés que leurs matières premières. Le tantale est l’un des rares métaux réfractaires durs, bleu-gris et hautement résistants à la corrosion. Le point de fusion du tantale est de 2980 degrés et la densité est de 16,68 g/cm3. Le tantale possède une série d'excellentes propriétés telles qu'un point de fusion élevé, une faible pression de vapeur, de bonnes performances de travail à froid, une stabilité chimique élevée, une forte résistance à la corrosion des métaux liquides et une grande constante diélectrique du film d'oxyde de surface. Il a des applications importantes dans des domaines de haute technologie tels que l'électronique, la métallurgie, l'acier, l'industrie chimique, le carbure cémenté, l'énergie atomique, la technologie supraconductrice, l'électronique automobile, l'aérospatiale, les soins médicaux et de santé et la recherche scientifique.
Exigences de performance des cibles de pulvérisation de tantale
La pureté des cibles de tantale est divisée en trois niveaux : 99,95 % (3N5), 99,99 % (4N) et 99,995 % (4N5), et la teneur en impuretés individuelles spécifiques doit répondre aux exigences de l'utilisateur. Après un usinage de précision, la cible en tantale présente une bonne rugosité de surface et la surface doit être propre et brillante. Pendant le processus de traitement sous pression, la structure interne de la cible en tantale est facile à stratifier. De plus, des pores se forment également facilement à l’intérieur du lingot de tantale.
Les cibles de tantale qualifiées ne doivent pas présenter de défauts tels que la stratification organisationnelle interne et les pores ; leur granulométrie doit répondre aux exigences du tableau 9-24 ; leur dureté doit répondre aux exigences de 60HV~110HV. Les cibles en tantale peuvent être soudées à la plaque arrière par brasage ou soudage par diffusion, et la qualité du soudage doit répondre aux exigences du tableau 9-25. Le diamètre des cibles en tantale pour puces semi-conductrices est généralement de 200 à 460 mm et l'épaisseur est de 6 à 10 mm.


Composition chimique
|
Élément |
R05200 (%,Max) |
R05400 (%,Max) |
|
C |
0.01 |
0.01 |
|
O |
0.015 |
0.03 |
|
N |
0.01 |
0.01 |
|
H |
0.0015 |
0.0015 |
|
Fe |
0.01 |
0.01 |
|
Mo |
0.02 |
0.02 |
|
Nb |
0.1 |
0.1 |
|
Ni |
0.01 |
0.01 |
|
Si |
0.005 |
0.005 |
|
Ti |
0.01 |
0.01 |
|
W |
0.05 |
0.05 |
Produits métalliques Yusheng
Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd. est située dans la zone de développement de haute technologie de la ville de Baoji, province du Shaanxi. Les principaux produits de l'entreprise sont : le tantale, le niobium, le vanadium, le tungstène, le molybdène, le titane, le zirconium, le nickel, le cobalt, l'indium, le hafnium, l'étain, le chrome et leurs alliages. Profilés de traitement conventionnels tels que plaques, bandes, feuilles, tiges, fils et tubes, ainsi que des bateaux, creusets, cibles de pulvérisation, cibles de revêtement, pièces usinées, boucliers thermiques de four à haute température, éléments chauffants, corps de four (fours de chauffage, four de recuit), équipements résistant à la corrosion et autres produits transformés en profondeur.



Équipement métallique Yusheng
Nous disposons d'un four à bombardement par faisceau d'électrons de 350 kW, d'une presse hydraulique de 2 000 T, d'un four de recuit sous vide de 1 700 mm, d'une machine de forgeage fine de 42 kW et de deux machines de forgeage fine de 15 kW, d'une machine à rouler les feuilles fines en rouleauxLDD120, LDD-40, LDD-15 , LDD-8 machine à rouler les tuyaux à double ligne,2-rouleau 500T bilet mil ouvert, 4-machine à rouler à froid.6-machine à rouler à froid, machine à étirer double face 15 KW , rectifieuse cylindrique, machine à dépouiller, rectifieuse de surface et une série d'autres équipements.



Applications cibles de pulvérisation de tantale
• Utilisé dans les équipements de laboratoire.
• Utilisé comme substitut au platine.
• Utilisé dans les secteurs de la métallurgie, de la transformation des machines, du verre et de la céramique ; utilisé dans la production de superalliages et la fusion par faisceau d’électrons.
• Utilisé comme ajout de superalliage dans les alliages à base de nickel.
• Utilisés comme cibles de pulvérisation dans les écrans à cristaux liquides à transistors à couches minces et les circuits intégrés (TFT-LCD).

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