Quels types de matériaux cibles existe-t-il ? Première partie

Quels sont les matériaux ciblés ?

La cible est en fait un concept large. Il existe trois façons de classer les matériaux cibles :

1. Selon les dimensions extérieures, il peut être divisé en cibles cylindriques, rectangulaires, carrées et en cibles tubulaires. Selon le matériau, les matériaux cibles peuvent être divisés en cibles métalliques, cibles non métalliques en céramique polymère et cibles en alliage, etc.

2. Selon le matériau, les matériaux cibles peuvent être divisés en cibles métalliques conventionnelles, cibles en métaux précieux, cibles en métaux de terres rares, cibles non métalliques, cibles de pulvérisation en alliage, cibles de pulvérisation en céramique, etc.

3. Selon le domaine d'application, il peut être divisé en cibles pour semi-conducteurs, cibles pour panneaux d'affichage, cibles pour cellules solaires, cibles pour enregistrement magnétique, etc.

Classification par forme de cible

Les cibles courantes sont principalement des cibles carrées et des cibles rondes, qui sont des cibles solides. Lors de l'opération de revêtement, le champ magnétique généré par l'aimant permanent circulaire sur la surface de la cible est annulaire, une érosion inégale se produit, l'uniformité de l'épaisseur du film pulvérisé n'est pas bonne et l'efficacité d'utilisation de la cible n'est que d'environ 20 à 30 %. La cible à tube creux actuellement promue peut tourner autour d'un ensemble d'aimants à barre fixe pendant une certaine période de temps, et la surface de la cible à 360 degrés peut être gravée uniformément, ce qui présente des avantages évidents et augmente le taux d'utilisation à 80 %.

Classification par matériau cible

Cibles métalliques conventionnelles :