Parce que le molybdène a les caractéristiques d'un point de fusion élevé, d'une conductivité électrique élevée, d'une faible impédance spécifique, d'une bonne résistance à la corrosion et d'une protection de l'environnement,cibles de molybdènesont largement utilisés dans l'industrie électronique, tels que les électrodes pour les écrans plats, les cellules solaires à couche mince et les accessoires. Informations sur la ligne, laissez maintenant Xiaobian et vous connaître les caractéristiques des cibles de molybdène dans les produits de tungstène et de molybdène.
1. Cible de molybdène de haute pureté
Généralement, la pureté de la cible de pulvérisation en molybdène doit être d'au moins 99,95 %. Cependant, avec l'amélioration continue de la taille des substrats en verre dans l'industrie LCD, et selon la taille des substrats en verre pulvérisé et l'environnement d'application, la pureté des cibles de pulvérisation en molybdène doit être de 99,99 % -99. 999 pour cent ou même plus.
2. Cible de molybdène haute densité
Dans le processus de revêtement par pulvérisation, lorsque la cible de pulvérisation à faible densité est bombardée, en raison de la libération soudaine de gaz existant dans les pores du matériau cible, des particules ou des particules cibles à grande échelle se forment pour éclabousser, ou le matériau du film est soumis à des dommages secondaires après la formation du film. Le bombardement électronique secondaire forme une éclaboussure de particules dont la présence peut dégrader la qualité du film. Afin de réduire les pores dans le solide du matériau cible et d'améliorer les performances du film, le matériau cible de pulvérisation cathodique doit généralement avoir une densité plus élevée.
3. Granulométrie
Généralement, la cible de pulvérisation cathodique en molybdène a une structure polycristalline et la taille des grains peut aller du micromètre au millimètre. Des études expérimentales ont montré que le taux de pulvérisation de la cible de grains de molybdène à micro-échelle est plus rapide que celui du grain grossier, et la cible avec une plus petite différence de taille de grain de molybdène a une distribution d'épaisseur plus uniforme du film déposé.
4. Sens de cristallisation
Étant donné que les atomes de la cible sont simplement pulvérisés dans la direction d'un agencement strict hexagonal d'atomes pendant la pulvérisation, afin d'atteindre le taux de pulvérisation, le taux de pulvérisation est souvent augmenté en modifiant la structure cristalline de la cible. La direction cristallographique de la cible a également une grande influence sur l'uniformité d'épaisseur du film pulvérisé. Par conséquent, l'obtention d'une structure cible avec une certaine orientation cristallographique est cruciale pour le processus de pulvérisation cathodique des couches minces.
5. Conductivité thermique
Les fabricants de produits en tungstène et en molybdène vous indiquent que la cible de pulvérisation en molybdène doit être connectée au châssis en cuivre sans oxygène (ou d'autres matériaux tels que l'aluminium) avant la pulvérisation afin que la conductivité thermique entre la cible en molybdène et le châssis puisse être garantie pendant le processus de pulvérisation. Après la liaison, il est nécessaire de passer une inspection par ultrasons pour s'assurer que la zone non liée des deux est inférieure à 2%, afin de répondre aux exigences de la pulvérisation à haute puissance sans tomber.
6. Performances cibles en molybdène
Pureté : molybdène pur supérieur ou égal à 99,95 %, molybdène à haute température supérieur ou égal à 99 % (ajouter des éléments de terres rares)
Densité : supérieure ou égale à 10,2 g/cm3
Point de fusion : 2610 degrés
Spécifications : cible ronde, cible plate, cible rotative
L'environnement approprié pour la cible de molybdène produite par Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd. est un environnement sous vide ou un environnement de protection par gaz inerte. La teneur en molybdène pur dans les produits en molybdène que nous fournissons est élevée, la résistance à haute température est de 1200 degrés et la résistance à haute température de l'alliage de molybdène est de 1700 degrés. Les cibles de molybdène produites par notre société sont de haute qualité, à un prix raisonnable et une livraison rapide.
