Lors de l'acquisition d'objectifs, de nombreux consommateurs ne prennent pas en compte le point de vue professionnel. Ce qui suit répertorie les considérations à prendre en compte avant d’acheter des cibles.
La pureté est l'un des indicateurs clés de performance de l'objectif pour tous les métaux. Les performances du film de produit ultérieur sont considérablement influencées par la pureté de la cible. Cependant, la pureté du matériau souhaité varie en fonction du produit.
La teneur en impuretés de la cible vient en deuxième position. Les contaminants présents dans le solide cible ainsi que l'oxygène et la vapeur d'eau dans les pores sont les principales causes de contamination du film déposé après une série de traitements de la cible. Les exigences en matière de teneurs en impuretés diverses des cibles pour les différentes utilisations sont également différentes en raison de l'utilisation variée. Par exemple, il existe certaines spécifications concernant la teneur en métaux alcalins et en éléments radioactifs des cibles en aluminium pur et en alliage d'aluminium actuellement utilisées dans le secteur des semi-conducteurs.
L'une des principales mesures de performance de la cible est la densité. Il est généralement nécessaire que le matériau cible ait une densité plus élevée afin de réduire les pores du solide et d'améliorer les performances du film pulvérisé dans le processus technique du matériau cible. La densité caractéristique du matériau cible influence à la fois les propriétés électriques et optiques du film, elle a un impact significatif sur la vitesse de pulvérisation. Les performances du film augmentent avec la densité de la cible.
La granulométrie et la dispersion granulométrique viennent en dernier lieu. Le matériau cible est souvent polycristallin et présente des grains dont la taille varie du micromètre au millimètre. Tandis que la répartition de l'épaisseur du film pulvérisé déposé par la cible présente une différence de granulométrie plus petite (distribution uniforme) est plus uniforme, la vitesse de pulvérisation d'une cible à grains fins est supérieure à celle d'une cible à grains grossiers pour le même matériau cible.
