L'impact de la liaison cible et de la qualité du revêtement sur le revêtement de grandes surfaces sera discuté dans cet article. Certains matériaux à faible ténacité, comme les métaux, les alliages et les oxydes sujets à la fissuration, seront impactés pendant le processus de revêtement. La cible tournante est souvent liée au revêtement en acier inoxydable pendant la préparation, et la cible est généralement liée à la plaque de support en cuivre lorsqu'une fissuration se produit. L'indium métallique ou d'autres composés métalliques sont l'ingrédient liant le plus souvent utilisé.
Cela peut aider à résoudre quelques problèmes liés au manque de résistance mécanique du matériau cible, en plus d'éviter une rupture accidentelle du matériau cible pendant le transport. Pour résoudre le problème de l'utilisation limitée de cibles de grande taille, ces techniques impliquent l'épissage des cibles sur la plaque arrière. Elles peuvent garantir un contact électrique et un refroidissement appropriés du matériau cible, ainsi qu'une protection contre la fissuration de la cible et la pulvérisation inégale.
Une conductivité thermique inégale entraînera une pulvérisation inégale du matériau cible (formation de film inégale), tout comme les nodules de surface et les phénomènes de décharge. De plus, une formation inégale du film entraînera une couleur inégale de la couche de film, ce qui affectera la façon dont la couche diélectrique change en fonction du produit final. Augmentez évidemment le nombre de rejets de revêtement. En conséquence, les propriétés de liaison du matériau cible affectent grandement la façon dont il est utilisé. En raison de l'interaction entre la dilatation et la contraction thermiques du matériau cible et le coefficient de dilatation thermique du tube en acier inoxydable, la géométrie la taille de certaines cibles rotatives en métal ou en alliage qui ont une bonne conductivité thermique mais ne nécessitent pas de liaison, telles que les cibles ZnAl, ZnSn et SiAl, augmente avec la température.
Le coefficient de régularité du changement et le changement diffèrent l'un de l'autre, c'est pourquoi certains matériaux de connexion doivent être utilisés pour le collage. Si le mélange est pauvre, le matériau cible chauffera de manière inégale, la conduction thermique sera entravée et des fissures et des chutes se produiront. se produire. Ces problèmes auront un impact sur la qualité du revêtement et sa capacité à produire des biens.
En général, le matériau cible en céramique présente une mauvaise dissipation thermique en raison de la génération de chaleur élevée du matériau cible pendant le processus de pulvérisation. Il est simple de générer de la chaleur locale pendant le processus de pulvérisation si la liaison a une grande surface et si la liaison est mauvaise. L'indium, un matériau liant à faible point de fusion, s'accumule et fond, ce qui provoque la fissuration ou même le détachement du matériau cible.
Le revêtement cible dépend grandement de la liaison du matériau cible et du calibre du tube de revêtement. Cela demande du professionnalisme et de la vigilance de l'équipe pour permettre le dépôt d'un film efficace.
