1. Utiliser un magnétron pour pulvériser
Il existe trois types de pulvérisation magnétron : la pulvérisation radiofréquence, la fréquence intermédiaire et la pulvérisation continue.
A. La densité du film de dépôt est faible et l’alimentation électrique de pulvérisation CC est peu coûteuse. En règle générale, les batteries photothermiques et à couches minces domestiques choisissent d'utiliser cette technique car elle nécessite peu d'énergie et utilise un métal conducteur comme cible de pulvérisation.
B. L'énergie de la pulvérisation RF est plutôt élevée. Une cible conductrice ou une cible non conductrice peut être utilisée comme cible de pulvérisation.
C. Une cible en métal ou en céramique peut être utilisée comme cible de pulvérisation à moyenne fréquence.
2. Classification et utilisation des cibles de pulvérisation
Les cibles de pulvérisation se présentent sous différentes formes et tailles, et elles ne sont pas toutes classées de la même manière. Elles peuvent être classées en cibles longues, cibles carrées et cibles rondes en fonction de leur forme, ainsi qu'en cibles métalliques, cibles en alliage et cibles constituées de composés céramiques en fonction de leur composition. Elle peut être divisée en cibles céramiques liées aux semi-conducteurs, cibles céramiques pour supports d'enregistrement, cibles céramiques pour écrans, etc. en fonction de divers domaines d'application. Les secteurs de l'électronique et de l'information, y compris le stockage d'informations, sont les principaux utilisateurs des cibles de pulvérisation cathodique. Des disques durs, des têtes magnétiques, des disques optiques et d'autres produits à couches minces associés sont créés dans cette activité à l'aide de cibles de pulvérisation.
Actuellement, le marché des cibles en céramique pour supports d'enregistrement connaît une demande croissante en raison de la croissance continue de l'industrie de l'information, et la recherche et le développement de cibles pour supports d'enregistrement reçoivent désormais beaucoup d'attention médiatique.
